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Edwards分子泵机组-广东潽拓光电

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广州潽拓光电科技有限公司——Edwards分子泵机组,分子泵

爱德华Edwards SCU-800分子泵控制器维修价格


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      Edwards SCU-800英国爱德华分子泵控制器输入电压100~240VAC,功率 850VA,频率50-60hz,Edwards SCU-800输出电压80VAC,频率800HZ







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STPA2203C Edwards磁悬浮涡轮分子泵是为半导体应用而设计的涡轮分子泵STPA2203C Edwards磁悬浮涡轮分子泵它使用的转子,可实现的性能,大的制程灵活性。全新的半机架控制器能够节省更多空间,且采用直流驱动,无需电池即可运行。STPA2203C 已经由半导体和磁介质行业的大型刻蚀、离子注入和沉积设备制造商投入使用,并得到了。

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nEXT 平台实现高度的模块化,为满足客户应用和需求提供了*大的灵活性。 每台泵都提供两种不同的内部配置,以实现不同的性能。





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Edwards nEXT240D分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵,有ISO100和CF100两种入口法兰接口,对N2的抽速为240l/s。

该分子泵有80W和160W两种zui大预设功率可选,前者可使用100W TIC控制器,适用于抽ya气,但在该功率下达到满转速的加速时间较长。